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光电芯片制造工艺详解?

光电芯片制造工艺详解?

作者:admin    来源:未知    发布时间:2024-03-06 11:09    浏览量: 标签: 芯片 详解 加工 第一步 工艺 制造 光电 晶圆

  第一步 晶圆加工

  所有半导体工艺都始于一粒沙子!因为沙子所含的硅是生产晶圆所需要的原材料。晶圆加工就是制作获取上述晶圆的过程。

  第二步 氧化

  氧化过程的作用是在晶圆表面形成保护膜。它可以保护晶圆不受化学杂质影响、避免漏电流进入电路、防止晶圆在刻蚀时滑脱。

  第三步 光刻

  光刻是通过光线将电路图案“印刷”到晶圆上,可以理解为在晶圆表面绘制半导体制造所需的平面图。

  第四步 刻蚀

  在晶圆上完成电路图的光刻后,就要用刻蚀工艺来去除任何多余的氧化膜且只留下半导体电路图。

  第五步 薄膜沉积

  创建芯片内部的微型器件,不断沉积一层层的薄膜并通过刻蚀去除掉其中多余的部分,还要添加一些材料将不同的器件分离开。

  

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  第六步 · 互连

  半导体的导电性处于导体与非导体(即绝缘体)之间,这种特性使我们能完全掌控电流。

  

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  第七步 测试

  测试的主要目标是检验半导体芯片的质量是否达到标准,消除不良产品、提高芯片的可靠性。

  第八步 · 封装

  经过之前几个工艺处理的晶圆上会形成大小相等的方形芯片(又称“单个晶片”)。

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